真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，电池手套箱，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱故障分析
一、手套箱不断抽真空
1. 过渡舱舱门未关严；
2. 脚踏是否被东西压住；
3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；
4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。
二、手套箱用气量增大
1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；
2. 高真空挡板阀气体泄漏；
3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。
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手套箱的日常维护保养
1.注意：通电后，若有无法启动的问题，一种可能性是因为真空泵电源线连接松动，另一种原因是真空泵自身的开关未开启。
2.要样品放入手套箱时，尽量使用小过渡舱，打开过渡舱门前需先注意阀门腔上的压力表指针是否在零的位置。若是，则可直接打开；若否，则需先将阀门腔下的开关转至“填充”的位置，使气体进入手套箱过渡舱内，再将开关转回中间位置，此时可以打开过渡舱门将样品放入，再将舱门关上。放置样品时，需小心不要用手触摸过渡舱内壁，请佩戴手套取放样品。
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